【傅里叶红外光谱仪膜厚】傅里叶红外光谱仪的基本结构和膜厚分析技术原理|资讯|承天示优

傅里叶红外光谱仪的基本结构

傅里叶变换红外（Fourier Transform Infrared, FTIR）光谱仪是一种广泛应用于材料科学、化学、生物医药等领域中，以检测物质内部键合情况为目标的分析设备。其主要由光源系统、干涉器系统、检测及信号处理系统三部分组成。

1. 光源系统

在FTIR光谱法中，能够激发样品吸收特定波长光线并产生振动，导致电偶极矩改变从而影响较强吸收区间出现明显差异。因此，在实际使用过程时需要选择符合需求的可见-近红外校准氙灯或者紫外灯作为初始选取LED点亮后不断再对该采样进行扫描，并反复循环比较每次输出结果的相位大小差距变化情况。

3. 检测及信号处理系统

这部分则由控制计算机程序完成：将接收到数据初步整理存档；如有必要，将各个采集点上的光谱信号进行叠加处理；最后输出制备所需的光谱图表或结构式。

基本介绍

FTIR可以用于在几秒钟之内测量有机物、无机物和高聚合物等材料中的成分及其化学状态。利用FTIR对有固体或液态样品进行扫描，经过提取数据、去噪声、四阶假设测试（4-point detection test）以及Fourier转换后便可生成简明易懂且富含信息量的光谱结果

应用

它已被广泛应用于精密电子器件行业（如半导体制作）、新型材料研究与开发领域（如高温陶瓷、硬度超强玻璃）、生命医药领域（例如肝素检验）以及文化保护与修复工程等方面。

膜厚分析原理

位于空气-衬底-样品三者交界处形成全反射，在接触区间形成一定深度范围内能够反映出每层相对位置差异关系。同样利用空气-样品界面进行光学测试前后的干涉作用，可以通过光路延迟时间对比的方式来确定厚度。

结论

总体而言，在不同区域中选取具有代表性的样品提供正确可靠数据，通过傅里叶变换红外（FTIR）技术下生成预处理好成分及化学状态相关信息丰富、图像清晰准确。此外，借助施密特反射式粗糙膜厚测量方法也是非常值得探究的一种快速定位和检查QWIP输出结果情况方法之一。

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