半导体激光气体分析仪是一种用于检测和分析气态样品成分的装置。其基本原理是利用激光束与样品相互作用产生的吸收、散射、荧光等现象，通过对这些信号进行处理，得到样品成分及其浓度信息。

在使用半导体激光气体分析仪时，需要注意调整其光路以保证信号质量和精确度。以下将详细介绍如何调整半导体激光气体分析仪的光路。

步骤1：确定基准点

在调整前应先确定一个稳定不变的参考点，并记录该位置。一般选取机壳上某个固定物作为基准点，例如镭灯头或刻度尺标记处。

步骤2：调节反射镜角度

将反射镜距离适当增加（10-15厘米），使其能够接收较大范围的入射角度，在进口窗外侧放置一个照明源并打开照明，利用目测以及远程观察目标点光斑的方法来调节反射镜角度。在保证信噪比最好的同时，使得反射光线能够恰好绕过样品池并返回激光器。

步骤3：调节激光入口

将望远镜对准进口窗内侧，并打开近场红外摄像头拍照，通过屏幕显示实时图像，在反射镜和望远镜之间增加一个带孔板或者透明玻璃片以便于观察到待检测气体吸收谱线数据。根据屏幕上看到的图案来调整激光束位置、角度和斑点大小，使其全部覆盖孔径且不过大（掌握为2/3倍孔径左右），确保出去的激光质量接近理想状态。

步骤4：补偿参考背景

当检验对象特别小、闲置时间较长等情况下，在开始测试前需要进行零点及背景修正。首先应断开气路管道连接，并确定该仪器所处环境中是否存在需要被检测的气体成分或干扰物，然后根据检测量程，选择基准点到背景吸收谱线最平缓稳定处进行零点设置。

步骤5：调节样品池角度和位置

将待测样品置于样品池中并透过窗查看激光束在池内是否正常工作。该过程较为复杂，需要多次试验并对比结果。一般应当保证入射光垂直进入、出射光垂直发射、空间孔径与激发区域相符，并且要控制反方向散射环境中存在的折返温变影响等因素。

总结

半导体激光气体分析仪是一种高精度的样本分析设备，在使用时必须认真调整其光路以确保获得准确可靠的测试数据。通过上述步骤对半导体激光气体分析仪进行正确地 光学 校正之后，即使受到环境因素影响也能够有效地提高其性能表现和信号质量。

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