• 本文目录导读：
• 1、 什么是RGA残余气体分析仪
• 2、 RGA残余气体分析仪参数
• 3、 如何计算设备中的特定气态成份含量
• 4、 总结

什么是RGA残余气体分析仪

RGA全称为Residual Gas Analyzer，即残留气体分析器，它是用于检测和分析真空系统中存在的微量气体的一种专业仪器。通常使用质谱技术来实现对各种微小气体成份的准确、快速地检测和定量。

RGA残余气体分析仪参数

以下列出了一些常见的RGA主要性能指标：

- 检测范围：从低至10^-14 Torr

- 质谱质量范围（mass range）：常规15~300Da，升级型Up to 16,000Da；

- 离子源类型：电弧（Filament）、离子阱（Ion trap）、二极管杆或四极杆；

- 探头类型：平板探头、聚焦棒探头等

以上这些参数将直接影响到该设备在试验过程中所展现出来的精度以及灵敏度水平。

如何计算设备中的特定气态成份含量

由于不同构型下所得出来数据信息处理方式可能有所不同，这里我们仅以常规配置单四极杆型RGA为例进行说明。

在此种设备中，可以使用以下公式计算一个特定的气体（其质量热性与其他气体相对较大）在真空系统内的含量：

Xg = (mg*Torr*S)/(Sf*K*V)

其中，

- Xg= 该气体的部分压强 (Torr)

- mg=该气体离子化时得到的峰值电流(i0) (A)

- S=元素敏感系数(依耐于质谱范围和表格数据)(A/Torr)

- Sf=集成放大器前级放大比(the gain factor of the preamplifier, 常见3x10^9 V/A

- K=普朗克常数, 6.626 x 10^-34 J.s

- V=vacuum system volume(in liters),

or in unit of cubic centimeters if calculating using millitorr and amu instead.

需要注意，在实际操作过程中应根据精度需求考虑是否还有一些修正因素需要进行统筹。例如，如果你关注万分之一甚至更小大小细节则会发现输入欧姆定律作为最后检测值结果是不够准确完美的。即使取样过程、传感探头布局等方面都已经尽善尽美满足理论要求，但预设模型本身所包含的一些常量以及硬性定义也会对计算结果产生影响。因此，在实际运用过程中，需要根据具体情况进行微调或修正。

总结

RGA残余气体分析仪是在真空系统应用领域非常重要的测试工具之一，其功能强大且检测精度可靠。通过了解这个设备主要参数和如何计算气态成份含量等基础知识，可以让你更好地使用它来帮助完成相关科研项目或生产操作需求。

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