【蒸镀残余气体分析仪】蒸镀残余气体分析仪与RGA残余气体分析仪——技术原理、应用场景及优缺点比较|行业动态|承天示优

1. 蒸镀残余气体分析仪的技术原理和应用场景

蒸镀是一种常见的表面处理方法，通过在材料表面上沉积一层金属或几个金属的复合物来增强其性能。但是，在这个过程中，会产生一些未反应掉的化学物质和水汽等废气，它们可能对涂装品质量有重要影响。因此需要在蒸镀过程中各阶段监测废气成分变化情况。

蒸镀残余气体分析仪（Residual Gas Analyzer, RGA）就是一个专门进行这项任务的工具。该设备基于质谱技术实现了在真空环境下对多种已知或未知组分精确定量、连续在线监测，并可自动报警跳出异常值等功能。

主要应用场景包括：

- 化学加工：例如电子器件制造、光伏制作。

- 材料科学：特别是涂覆材料方向如钻石样品预处理、表面分析。

- 能源行业：燃料电池领域。

RGA残余气体分析仪也是一种质谱学应用，但相比蒸镀残余气体分析仪更加广泛地使用于真空设备中对剩余气体成分的监测。正如前文所述，由于很多高科技环境或生产工艺需要处在真空状态下进行，因此常规检测手段往往难以处理这个环境下未定性组元。

RGA通过对不同离子（阳离子）整流和加速型式的判别来确定每个碎片离子的质量及其丰度，并可以将它们与已知标准库匹配从而识别待测试样品中存在哪些具体元素。同时RGAs还可计算出试验箱内各类杂质物最终解压弛豫稳态构成大致情况和变化趋势。

常用于半导体芯片制造、核反应堆控制等特定环境或行业

主要优点：

1）依赖衍射法等传统方法难以辨认的未定组元，估量更加准确、灵敏度高。

2）依赖真空环境下获得质谱图形进行分析，与温度、压力等干扰因素无关，并且实验过程完全非毁性地执行观测。

3）分析结果比其他大多数方法提供有用信息要完整得多，在开发和监视新型化学气体混合物或极低浓度样品时有决策价值。

主要缺点：

1）对于一些相互作用很弱的轻微离子及其官能团不能选择出来鉴别；

2) 仅适用于真空环境检测；

3) 对目标制备工艺稳态条件推导仍需考虑不小误差情况。

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